作者：张秉楚；张竹林

作者单位：淮南工业学院机械系

摘要：基于多元素靶溅射的Audersen Sigmund关系式 ,在分析了大量的二、三元素合金溅射稳定态靶表面化学成分的变化之后 ,发现各元素之间表面结合能之比几乎与靶体化学成分无关 .即只要给各元素之间设定适当的表面结合能比 ,就可以很容易地计算出稳定态表面化学成分并且计算结果都与实验值一致 .因为所分析的实验数据是在常温下取得的 ,所以可不考虑离子轰击诱发的Gibbs偏析 .所得的结论很可能是多元合金靶溅射的一般规律 ,而这个结论与Kelly和Urbassek等建立的合金表面结合能理论直接矛盾 ,可以断定 ,他们的理论是有问题的 .

关键词：择优溅射;表面结合能;Andersen-Sigmund关系式;

分类号：O571.33