作者：张秉楚；张竹林

作者单位：淮南工业学院

摘要：发展了J M Mayer等人建立的两元靶溅射的暂态理论 ,清晰地给出了描述因离子束轰击诱导多元靶表面化学成分随离子通量变化的公式 .根据稳定态时化学成分的改变 ,可以推算出靶中任意两元素表面结合能之比 .利用Schiott理论 ,可以计算多元靶中的离子射程 ,从而可以很简单地求出多元靶表面化学成分随轰击离子通量的动态变化过程 ,亦即暂态过程 .作为例子 ,作者计算了某些真实的两元和三元合金靶的暂态过程 ,结果显示出计算曲线和实验曲线符合得很好 .

关键词：多元靶溅射;离子通量;暂态过程;

分类号：O641